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期刊论文 4

年份

2023 1

2021 2

2020 1

关键词

X射线自由电子激光 1

光刻 1

光刻机 1

场效应管 1

复合节流静压气浮导轨 1

工作点 1

微力传感器 1

微结构 1

极紫外光刻光源 1

柔性光刻胶SU-8 1

横向运动栅极 1

生物医学显微操作 1

等离子体飞行头 1

红外太赫兹光源 1

纳米加工 1

自由电子激光 1

表面等离激元 1

超构表面 1

转动刚度 1

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光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 Article

温众普,  吴剑威,  邢坤鹏,  张银,  李结安,  谭久彬

《工程（英文）》 2021年 第7卷 第2期   页码 226-237 doi: 10.1016/j.eng.2019.09.012

摘要：

在光刻机可变狭缝系统（VS）中，紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构。研究表明，导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能。在ArF光刻机上的VS上对气浮导轨进行加速扫描实验，平均扫描加速度达到67.5 m·s–2，
达到了设计要求。

关键词： 光刻机     复合节流静压气浮导轨     微结构     工作点     转动刚度    

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基于超构表面等离激元透镜的高速并行近场直写纳米光刻系统 Article

胡跃强, 李苓, 王榕, 宋剑, 王鸿栋, 段辉高, 纪佳馨, 孟永钢

《工程（英文）》 2021年 第7卷 第11期   页码 1623-1630 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.019

摘要： 研究已证明，采用表面等离激元的近场光刻技术（即等离激元光刻）是一种有前景的解决方案。基于高速旋转基底上高刚度被动纳米间隙控制的加工系统是其中一种高效率加工方案。因此，本文设计了一套并行等离激元直写纳米光刻系统。该原型系统实现了约26 nm最小线宽的纳米结构并行光刻。该系统有望应用于高自由级、低成本的纳米加工技术，如平面光学元件和纳米机电系统。

关键词： 纳米加工     表面等离激元     光刻     等离子体飞行头     超构表面    

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我国自由电子激光技术发展战略研究

李鹏,黎明,吴岱,周征,唐淳

《中国工程科学》 2020年 第22卷 第3期   页码 35-41 doi: 10.15302/J-SSCAE-2020.03.006

摘要： 研究提出了我国FEL 技术的发展思路，在2035 年前着力在长波波段FEL、X 射线FEL、新型FEL、基于FEL 的极紫外（EUV）光刻光源等方面取得突破。

关键词： 自由电子激光     红外太赫兹光源     极紫外光刻光源     X射线自由电子激光    

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基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器 Article

高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东

《工程（英文）》 2023年 第21卷 第2期   页码 61-74 doi: 10.1016/j.eng.2022.06.018

摘要： 由此设计了一种新型的三明治夹层结构，该结构由跨轴解耦Au-栅极阵列层和两个柔性光刻胶SU-8 层组成。

关键词： 微力传感器     横向运动栅极     场效应管     柔性光刻胶SU-8     生物医学显微操作    

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标题 作者 时间 类型 操作

光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计

温众普,  吴剑威,  邢坤鹏,  张银,  李结安,  谭久彬

期刊论文

基于超构表面等离激元透镜的高速并行近场直写纳米光刻系统

胡跃强, 李苓, 王榕, 宋剑, 王鸿栋, 段辉高, 纪佳馨, 孟永钢

期刊论文

我国自由电子激光技术发展战略研究

李鹏,黎明,吴岱,周征,唐淳

期刊论文

基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器

高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东

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